灵活的镀膜机,适用于精密光学的先进薄膜工艺
1200-PO-duo是Satisloh功能最全面的薄膜镀膜机,专为实现各类光学材料和膜层设计的最高镀膜精度而制造。其灵活的组件配置选项使生产商能够根据工艺需求和优先级(无论是镀膜复杂度、热敏度还是产量)精确定制系统。
先进的电子束枪结合多功能热蒸发源,可实现各种精密复杂的多层镀膜,且具有出色的均匀性和可重复性。集成的工艺控制、光学监测和行星式加热器确保了稳定的工艺条件和一致的镀膜质量。各种基材夹持器配置(包括行星式和伞具式),广泛支持各种基材和镀膜工艺,实现极高的工艺灵活性。
- 兼容性广泛的灵活的平台,适用于玻璃、塑料和晶体光学元件,可对多种产品类型进行镀膜
- 先进的双电子束与大功率热源技术,在支持复杂的多膜层沉积的同时,有效缩短了周期并简化了材料更换
- 在15英寸大型行星式基架上实现高镀膜均匀性(偏差<1%),且不受材料或沉积速率的影响
- 集成的光学或石英晶体监测系统,配合自动膜层控制,实现卓越的厚度精度和重复性
- 节能设计和智能加热器布局在保持可靠基板温度控制的同时,最大限度地降低了功耗
- 支持自动化且与MES集成的软件,可提升现代制造环境中的设备运行时间、可追溯性及生产透明度